二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9235357 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是来自LAM RESEARCH的最新一代PVD产品的高级蚀刻器。它是一种用于敏感半导体材料的蚀刻、剥离和图样设计的垂直、台式仪器。凭借极快的蚀刻速度,Torus 300S提供了卓越的均匀性和工作效率。LAM RESEARCH Torus 300S是一种功能强大、灵活的蚀刻器,具有较高的平行性和较低的颗粒污染。该蚀刻器是超导体蚀刻、MEMS元件和硅片等多种应用的理想选择。其高速蚀刻工艺既适用于批量加工，也适用于单片加工，也适用于MEMS。Torus 300S配备了先进的蚀刻设备，使用户能够处理干净和剥离的晶片。它设有两个独立的腔室，每个腔室都能在工件两侧蚀刻。该系统独特的设计允许在整个蚀刻过程中完全统一。该设备设计用于批处理或单晶圆处理环境。LAM RESEARCH Torus 300S还配备了用于监测、控制和调整蚀刻工艺的高级功能。这包括一个集成的四通道流量计，用于最优气体分布，以及压力和温度控制器。该机还包括互锁工具、紧急停止开关、超压保护报警等多种安全功能。除了蚀刻能力外，Torus 300S还拥有快速回收的低温恒温器、高分辨率成像资产以及用于涂层的高性能PVD模型。该成像设备能够捕获蚀刻表面的高分辨率图像，以便于分析。PVD系统是任何蚀刻过程的重要组成部分,因为它有助于确保使用正确的材料和厚度。LAM RESEARCH Torus 300S是一款功能强大且可靠的蚀刻器/der,提供一致的性能和优异的效果。它结合了高级特性和功能,使其成为那些需要高性能蚀刻设备来处理敏感材料的用户的理想选择。