二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9268953 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是一种蚀刻/抽吸设备，设计用于在大批量制造应用中提供高精度蚀刻和不锈钢灰泥。Torus 300S配备了一系列特性，包括高精度的浮动卡盘，以确保精确的基板放置；用于多频蚀刻的集成级联射频发生器；免提冲洗过程；以及支持Web的自动化过程控制系统。LAM RESEARCH Torus 300S是小型和大型基板蚀刻的理想选择，因为它具有平板性能和高精度的浮动卡盘。其射频发生器可实现多种不同的蚀刻过程，包括多频蚀刻，电压范围完全可调。浮动卡盘允许精确的基板定位，确保高精度的蚀刻和灰化。此外，Torus 300S还配备了免提ashing工艺，可实现高效的不锈钢ashing，无需人工干预。LAM RESEARCH Torus 300S还配备了一个支持Web的自动化过程控制单元,可实时监控蚀刻和灰化过程。这种过程控制机还设计用于通过高级逻辑配方提供过程优化。Torus 300S包括多种监控功能,例如用于作业跟踪和优化的实时反馈工具,以及用于确保最高质量蚀刻过程的集成光学质量控制资产。此外，LAM RESEARCH Torus 300S的设计符合最苛刻的环境和安全标准。其内饰采用不锈钢和阳极氧化铝构成，确保长期耐用。该模型还配备了综合气体安全设备，设计用于检测和监测所有加工气体。Torus 300S设计用于在大批量制造应用中提供高精度的蚀刻和灰化工艺。它具有高精度的浮动卡盘、集成的射频发生器、免提ashing工艺和Web支持的自动化过程控制系统等多种特点,使其成为需要高精度结果和最大程度过程控制的蚀刻器和灰烬器的理想选择。