二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9294018 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是业界领先的蚀刻器/asher,它提供先进的功能。该系统是第一个将创新的蚀刻和灰化技术结合起来处理复杂设备结构的系统。Torus 300S提供的独特工艺功能包括对硅、III/V和一系列其他材料进行专业级蚀刻和灰化。LAM RESEARCH Torus 300S具有大面积蚀刻/灰室,具有高精度步进电机驱动级,可实现8英寸以上的较大晶圆尺寸和先进的蚀刻/灰化序列。蚀刻和灰化工艺能力包括旋转和垂直图样、介电蚀刻和条带、图样传递、各向异性蚀刻、电阻蚀刻和间隙闭合。它还具有先进的腔室控制软件和控制硬件以及先进的边缘隔离技术。Torus 300S 蚀刻器/asher的设计满足了最严格的要求,其高精度的工艺控制确保了在每个蚀刻步骤中实现均匀性和卓越的生产吞吐量的可重复性。它具有卓越的工艺保真度,使用户能够以单向模式在<5 nm处生成结构,且均匀性影响最小。此外,它的超高工作效率可实现200至400 nm的曝光范围,并具有一致的关键特性性能。与前代产品相比,用户友好型设备提供了一系列无缝集成的硬件组件和功能,使其成为各种蚀刻/灰化应用程序（包括高级CMOS、MEMS、电源IC、功率放大器、RFID、MEM、MCM和其他应用程序）的理想系统。它还可以支持高长宽比特性、纳米通道、蚀刻干蚀刻后处理等特殊蚀刻工艺。总体而言,LAM RESEARCH Torus 300S是一款具有最新技术和专有功能的高级蚀刻器/灰化器,使其成为可用于复杂设备结构处理的顶级蚀刻/灰化工具之一。它非常适合在流程中要求最高精度、吞吐量和可靠性的设备设计人员。