二手 LAM RESEARCH Vector Express #9099741 待售
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ID: 9099741
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD System, 12"
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module Controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC
ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A
ULPA Filter
Pod loader: 3 / Fix load 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
ATM Door valve: (2) VAT
Chamber slit valve: (2) SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor
Vent / purge valve
L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX 2500
HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pedestal: Standard type
Showerhead
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC: Brooks SLA7950S
MFC A: N2O(L) 1500
MFC B: N2 20000
MFC C: Ar 10000
MFC 1: SiH4 1500
MFC 2: N2 10000
MFC 5: He 20000
MFC 6: NH3 20000
MFC 7: N2O(H) 25000
MFC 8: O2 30000
MFC 9: NF3 10000
Arm position detector: Local manufactured option
Gauge monitoring kit: Local manufactured option
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn No.1 pin lift type: Servo motor
2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express是一款下一代蚀刻器/asher，旨在满足半导体制造业最先进的应用需求。设备配备了四个强大的蚀刻和灰化系统，每个系统都能够独立蚀刻和灰分各种材料。蚀刻和灰化系统采用高功率自动控制系统进行了独特的设计，以提供可靠和准确的结果。该系统允许用户同时操作多个蚀刻和灰化系统，共同产生最高质量的蚀刻和灰化结果。自动控制单元提供了一个简单的用户界面，带有直观的菜单，允许用户放心地控制蚀刻和ashing过程。该机设计为操作广泛的蚀刻和灰化配方，确保用户能够实现所需的工艺步骤。该工具还利用了高级控制功能，如可变蚀刻速度、可编程温度和压力设置以及可变气流。资产还结合了诊断工具来监控蚀刻和灰化过程，从而实现更好的质量控制。Vector Express利用增强的安全功能来确保蚀刻和灰化过程的一致性和准确性。它采用一种独特的腔室构造方法，将敏感部件与腔室的恶劣环境隔离开来，确保可以进行蚀刻和灰化过程，而不会对腔室造成任何损害。该模型还包括一个独特的气密密封，以防止任何在蚀刻和灰化过程中使用的危险化学物质进入工作区。该设备还包括一个功能强大的诊断工具，提供有关蚀刻和灰化过程的实时报告，允许用户相应地监控和调整蚀刻和灰化参数。此诊断工具允许快速诊断故障,并为用户提供有关系统性能的反馈。这种实时反馈确保用户可以优化设备以获得最高质量的蚀刻和灰化结果。LAM RESEARCH Vector Express还提供增强的性能功能,以降低机器的拥有成本。它几乎不需要手动维护,而且其自我校准功能确保了一致的质量和可靠性。它的模块化设计允许合并额外的蚀刻和灰化系统,同时还提供了根据用户需求向上或向下缩放工具的灵活性。Vector Express是一种高性能、高度可靠的工具,它提供蚀刻和灰化解决方桉,以满足半导体行业中最苛刻的应用。其先进的特性和灵活性确保它可以保持任何半导体制造商生产线的组成部分。
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