二手 LAM RESEARCH Vector Express #9137283 待售

LAM RESEARCH Vector Express是为晶圆级处理需求而设计的高性能蚀刻器（也通常称为asher）。它被用于多种先进的技术蚀刻应用，如通硅通（TSV）、半导体封装、MEMS和光学元件。Vector Express使用光诱导电化学蚀刻（LIEE）技术，一种温和的蚀刻工艺，可以在多种基板上使用，不会损坏或去除底层薄膜。LAM RESEARCH Vector Express设备能够在受控条件下进行高精度蚀刻,实现10 nm以下的极精确图样和高产设备制造所需的蚀刻因子。它允许对每种样品或化学品设置不同的条件，如蚀刻脉冲参数、光源强度和气体类型，从而允许对每种基材进行最佳蚀刻性能。主要工艺和烤箱使用真空室，以减少过程中的颗粒计数和污染。Vector Express是温度控制的，具有热电偶连接的温度控制。此功能可确保温度稳定,这对于均匀蚀刻工艺和生产高质量设备至关重要。系统还使用了自动冷却单元以提高时间效率，无需等待冷却周期结束，并允许不间断处理。该机器还提供自动化和用户界面解决方桉,如电阻率控制、配方控制和全过程监控,以确保精度和可重复性。此外,该工具还提供集成的过程诊断,包括光发射光谱检测和分析,以及扫描电子显微镜（SEM）和接触角成像（CAI）等成像功能。LAM RESEARCH Vector Express旨在满足科研和工业制造的严格流程需求。资产经ISO 9001和ISO 14001认证，符合行业标准规定的严格安全和质量要求。