二手 LAM RESEARCH Vector Express #9195777 待售

LAM RESEARCH Vector Express是一款高度先进的蚀刻器/asher,其构建目的是在要求最苛刻的生产环境中提供性能和可靠性。该装置具有专利的双纵横比热成形，能够在各种材料和应用中提供高度均匀的蚀刻。该设备先进的晶片几何检测和角边的均匀保护,确保了晶片的最佳覆盖范围,从而实现了可靠高效的工艺。Vector Express的集成冷却系统将温度保持在要求的范围内,以获得一致的结果。这一单元的设计具有许多复杂的安全功能,包括多种气体选项、提供富含氧气的排气和冷却电路的应急保护机器,以及符合NEMA（国家电气制造商协会）标准的全金属外壳。LAM RESEARCH Vector Express也是UL认证，并配有CE标记。Vector Express的高级用户界面允许简单的流程编程和监控。这包括能够应用多个条件设置参数,以及保存和召回存储的蚀刻配方和过程程序。该工具包括几种脚本语言,这些语言为脚本编写和控制蚀刻过程提供了便利。此外,蚀刻器/asher还具有多种软件工具,例如LAM Vector Control软件,使用户能够从远程PC或笔记本电脑监视、跟踪和控制其蚀刻过程的各个方面。该软件旨在提供晶圆温度、腔室压力和其他基本工艺参数的实时数据。LAM RESEARCH Vector Express是为专业实验室和研究中心设计的高端、可靠、高效的蚀刻器/asher。其先进的安全应用、高度均匀的蚀刻以及用户友好的界面,使其成为寻求全面解决其蚀刻需求的用户的绝佳选择。