二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9137285 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9137285
晶圆大小: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme是一款先进的蚀刻器/asher,一种化学机械抛光(CMP)设备,用于在半导体基板上形成高度精确、纹理化的表面。它为大批量生产应用程序提供了出色的阵列。Vector Extreme的灵活性和可扩展功能使其成为业界使用最广泛的蚀刻器/分类器之一。LAM RESEARCH Vector Extreme拥有双头和三头模块,可实现蚀刻过程中的高速通用性,以及结合各种过程步骤以提高吞吐量的能力。三头模块专为高精度图样和设备制造而设计,允许用户通过一次扫描实现选择性蚀刻过程。Vector Extreme包括一个先进的高频驱动系统,以确保均匀蚀刻和批量一致性,以实现高精度图样。LAM RESEARCH Vector Extreme具有几个独特的特性,旨在降低成本和提高生产效率。它的迭代扫描功能允许快速调整蚀刻参数,而它的多模具功能则可以在具有多模具的单个晶片中实现高精度阵列。其集成的扫描过滤系统最大限度地减少了堵塞,并确保了平稳和不间断的生产。此外,它的miniramp系统可以精确移动蚀刻头,提高准确性,减少浪费的化学品和时间。Vector Extreme的双头模块提供了独特的磨料和化学抛光功能组合。其环境介质设计提供了改进的冷却能力和减少基板翘曲,从而提高了产量。此外,LAM RESEARCH Vector Extreme的专有喷嘴技术允许在制图过程中均匀分布蚀刻。Vector Extreme的高级功能通过灵活性和可扩展性得到进一步增强。可以快速重新配置和定制其大型机,以满足特定的制造需求。它的蚀刻头、涂料、纺纱机、腔室阵列也很容易互换,让厂商从一个工艺步骤快速转变为下一个工艺步骤。总体而言,LAM RESEARCH Vector Extreme的高级功能和可扩展性使其成为大批量生产应用程序的理想工具。其最先进的功能可实现精确的图案设计和更快的蚀刻过程,而其模块化设计则使制造商能够快速适应不断变化的制造条件。它的成本节约和效率提高了产量,使其成为业界最重要的蚀刻和灰化解决方桉之一。
还没有评论