二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235820 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235820
晶圆大小: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme是一款蚀刻器/asher,旨在提供卓越的可靠性、工作效率和精确度。Vector Extreme提供了一个集成的解决方桉,以最大限度地提高性能和改进过程控制,同时减少可变性。它在蚀刻和灰化过程中提供了最高的密度和准确性,以解决最具挑战性的应用,同时减少蚀刻时间。LAM RESEARCH Vector Extreme的高级设计具有优化的边缘过渡、精密的热管理和精细的沥青涂层功能,使其能够为任何应用提供卓越的蚀刻精度和精确度。该仪器采用开放式体系结构的多合一性能平台进行设计,可实现高效的过程集成和所有组件的最佳性能。它利用一个创新的两区工艺室快速反应和高保真结果。Vector Extreme利用了最新的真空/气体接口技术,这些技术旨在减少腔室电荷并最大限度地减少多余的颗粒。它还配备了可变光束技术,可以快速、精确地观察蚀刻过程。它具有高频电源,可提高精度和可重复性,并具有先进的光束控制技术,可在蚀刻/灰度背景之间快速切换。LAM RESEARCH Vector Extreme设计了一个高级软件包,用于控制和过程优化。它能够进行可编程的自动蚀刻过程,同时保持严格的控制参数,以确保准确的输出。该仪器还配备了强大的数据采集系统,允许用户随着时间的推移跟踪蚀刻和灰化质量。Vector Extreme采用模块化平台设计,提供多种配置。它旨在适应各种应用和全面的系统自动化。它是大型吞吐量应用程序和测试各种蚀刻和灰化效果的理想选择。它也可用于研究应用,包括新膜材料和工艺的表征。LAM RESEARCH Vector Extreme是一款可靠、用途广泛的蚀刻器/asher,可为任何蚀刻或灰化应用提供卓越的性能和工艺精度。
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