二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9315263 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme是一款高端蚀刻器/asher。它能够在先进的基板如硅片、复合半导体材料和光学介质上暴露出密集的特征。其先进的感应耦合等离子体源和最先进的设计提供了高通量和卓越的蚀刻均匀性，具有最高的工艺重复性和准确性标准。这种蚀刻器配备了广泛的工艺气体，包括氧气（O2）、氯气（Cl2）、三氯化硼（BC1）、六氟化硫（SF6）和溴化氢（HBr）。Vector Extreme气体输送设备的精确度允许精确控制最佳气体成分以获得最佳蚀刻质量。LAM RESEARCH Vector Extreme是一款模块化蚀刻器，可以方便地升级工艺模块，如负载锁升级以容纳更高更大的底物，电子回旋共振（ECR）升级以延长蚀刻时间，以及高级光学端点检测（OPD）系统升级以在蚀刻过程中进行实时端点检测。Vector Extreme通过其集成的degas和清洁工具实现了先进的基板清洗和预处理,并提供了对蚀刻工艺参数的高精度控制,以优化工艺结果。LAM RESEARCH Vector Extreme配备了空间滤波器单元，通过分离等离子体中的传入电子，并从等离子体内的反应性自由基中滤出粒子来最大限度地减少带电粒子污染。其先进的气体淋浴头机确保等离子体片均匀分布在基板表面，导致蚀刻剂均匀暴露在基板上。Vector Extreme兼容各种尺寸的晶片，包括300 mm和200 mm。LAM RESEARCH Vector Extreme还拥有高性能的计算机和图形用户界面,用于监视、存储、访问和跟踪蚀刻食谱。它监视和收集温度、时间、射频功率、等离子体密度等数据，以优化蚀刻过程，避免潜在异常。Vector Extreme是一款功能强大的蚀刻器,非常适合超浅或深蚀刻,以及高纵横比应用。非常适合生产、研发、先进的研究应用。