二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9315265 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme是一个为满足半导体制造业需求而设计的蚀刻系统。这种蚀刻工具具有高度的可配置性，为各种材料提供精确的沉积。它采用组合蚀刻、沉积和氮等离子体技术来提供最佳产量和提高蚀刻质量。它采用了先进的等离子体源技术的最新模型，提供了更高的精度，节省了成本和出色的蚀刻均匀性。此外,它还提供灵活、直观的用户界面,便于设置和操作。Vector Extreme设计了一个双平面蚀刻源，为每个蚀刻室提供了自己独立的蚀刻源。这样可以确保在一系列具有卓越重复性和均匀性的材料中获得最高的蚀刻精度。它还配备了补充蚀刻工艺的低功率磁控管源。这有助于在保持最佳蚀刻过程的同时最大限度地减少功耗。该工具还包含一个独特的速度控制模块，允许根据特定的工艺要求定制蚀刻和沉积参数。LAM RESEARCH Vector Extreme使用蚀刻和沉积的组合来实现所需的蚀刻轮廓。这是通过独特的动态真空蚀刻序列（DVES）技术实现的，该技术调整蚀刻速率和沉积剖面以获得最佳产量、稳定性和可重复性。它还依赖氮等离子体AZE（NPAZE）工艺来提供无与伦比的灵活性和对氮化物去除过程的控制。该系统还提供先进的喷嘴补偿技术，使蚀刻更加精确和可重复。这可以通过先进的喷嘴控制来补充蚀刻源，从而实现更好的重复性和提高产量。这也允许更精确和精确的蚀刻速率。Vector Extreme还提供了与其他工具模块的集成,有助于降低成本和改进流程优化。它可以与ExpellerTM Technology一起使用,它允许实时驱动蚀刻过程。这有助于缩短生产时间并提高机器利用率,从而实现更快、更准确的过程。该系统具有广泛的功能和优势,非常适合各种过程和产品应用程序。它具有高度可配置性,并提供精确蚀刻功能,使用户能够在资源最少的情况下获得最佳的产量和性能。LAM RESEARCH Vector Extreme凭借其先进的蚀刻和沉积技术，能够满足最苛刻的精密蚀刻要求。