二手 LAM RESEARCH Vector Frame #293667429 待售

LAM RESEARCH Vector Frame是一种先进的蚀刻器/灰化器，用于蚀刻和开发各种基材。这台机器具有高通量、可靠的设计，可以容纳各种基板。它在蚀刻和开发方面都配备了最先进的技术。Vector Frame采用双束蒸发电子枪，能够在不影响分辨率的情况下高速蚀刻基板。蚀刻过程由多室电动级监控，该级允许精确的光束转向，以便在整个晶圆上进行均匀处理。基板采用四柱机械系统夹紧在框架内，该系统允许高速装卸。LAM RESEARCH Vector Frame还有一个用于薄基板软烘烤的射频模块和一个带有氦气泄漏的负载锁定系统，允许晶圆在惰性气氛中处理。晶圆加工也可以链接到氦气洗涤器，以去除系统中的任何污染物。Vector Frame比传统系统有几个优点。它消除了真空烘烤工艺的需要，节省了时间和成本。另外，它可以加工直径从2"到4"的基板，精度为4微米。该机每小时最多可处理20个晶圆，操作极为方便。LAM RESEARCH Vector Frame是一款功能强大、可靠的蚀刻器/asher,功能广泛。它是各种基材的高精度蚀刻和加工的理想选择。这台机器具有极好的精确度和结果以及精确和可重复性。凭借其先进的功能，Vector Frame是各种蚀刻和开发应用的绝佳选择。