二手 LAM RESEARCH Vector #9167402 待售
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ID: 9167402
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
CVD System, 12"
Software OS: Window
Equipment status: In-line
Type: Non-SMIF
Automation online component: SECE
Wafer type: Notch at 6 o'clock
Main computer type: Others
Version: B 5.2_106
Software:
Y2K Completion: Yes
Process chamber:
Max pro-press: Gas flow- 100 torrs
Standby Temp: Online temp
Set point: Process dependent
Trigger value: 10
Process: Pesion
Transfer robot: Servo motor
Wafer mapping sensor: Each wafer detection
I/O Port stage: OHT
Scheduler controller: Flex 3
Computer: Pentium4 2.0GHz,HDD 80GB RAM 1024M
Operation panel: Front / Rear: Angle of 5-10
Operation monitor: 17" TFT LCD Monitor
2005 vintage.
LAM RESEARCH Vector是一款由前沿半导体工具提供商LAM RESEARCH制造的功能强大的蚀刻器/asper。Vector为生产高精度高产半导体提供了经济实惠的平台。它旨在提供高效、经济高效的电介质设备和材料制造,如电容器、电阻器和存储单元。LAM RESEARCH Vector的核心组件包括一个由不锈钢製成的统一室和一个具有直观介面的桌上型公用程式软体。该室是为容纳各种组件而建造的,大小从小件到较大的装置不等。室内有一个带有机械臂的样品支架,可以远程操作,在监测进度的同时操纵样品和调整参数。Vector利用超高精度蚀刻工艺来确保准确和一致的结果。蚀刻过程依靠激光或等离子体等能源,从样品表面产生微观、均匀的材料去除。这种蚀刻工艺可以用来创造令人难以置信的小特征,并具有令人印象深刻的精确度。LAM RESEARCH Vector的先进成像技术随后利用摄像机检测和监控蚀刻过程,以评估蚀刻结果。Vector还提供了许多不同且可定制的参数,包括工艺和温度控制。这使得蚀刻过程可以根据各个用户的需要和要求进行定制。通过提供对蚀刻过程的精确控制,LAM RESEARCH Vector允许用户以成本和时间的一小部分创建高质量的零件,而不是传统的蚀刻过程。凭借其强大的硬件和先进的软件,Vector是一个用途广泛、功能强大的蚀刻和灰化平台。它的均匀腔室能够以前所未有的精确度生产出独特而精确的零件,而其成像技术和可定制的参数使其成为寻求经济但可靠的蚀刻系统的用户的绝佳选择。
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