二手 LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498 待售

LAM RESEARCH Versys Kiyo是一款提供卓越切割精度的蚀刻器/asher。它是一种高性能的蚀刻器/灰化器，具有出色的生产率和可靠的耐用性，在半导体工业中常用。Versys Kiyo利用独特的双端盘式技术，能够有效蚀刻和粉刷各种材料，精度和精确度。LAM RESEARCH Versys Kiyo以三区离子源为特色，其中两个电极之间形成不对称电弧，产生聚焦的离子束。这种聚焦光束可以精确蚀刻和粉刷小特征。Versys Kiyo还包括广泛的蚀刻和灰化气体，如氟碳、氧气、氯气、氮气和SF6。高压气源确保每种气体在到达基板之前达到其最佳压力，从而导致材料的均匀蚀刻和灰化。LAM RESEARCH Versys Kiyo结合了高精度、卓越的生产力和可靠的耐用性。蚀刻和灰化过程极其精确，气体流动受到调节，即使在小特征范围内也能确保一致的结果。Versys Kiyo支持批量或串联过程以及多腔室操作,以实现最高的生产效率。直观的软件和人性化的操作使LAM RESEARCH Versys Kiyo简单易用，供操作员使用。此外，Versys Kiyo还配备了超温过流防护、自动系统关闭、增加安全性的锁定钥匙等先进安全功能。LAM RESEARCH Versys Kiyo提供高度的重复性和均匀性,以确保材料的一致蚀刻和灰化。Versys Kiyo是在广泛的电介质、聚合物和半导体中蚀刻和灰化的绝佳选择。