二手 LEYBOLD HERAEUS 301 #293651893 待售
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LEYBOLD HERAEUS 301是一种蚀刻器或asher，用于微型和纳米技术设备的光刻。它由短波红外石英灯、高速扫描检流计和PLC（可编程逻辑控制器）组成。石英灯发出红外光，由检流计控制的振动镜偏转。然后将偏转光聚焦在要蚀刻或粉刷元素的基板上。301是用于集成电路生产的高度精确的蚀刻器/asher。它具有±. 01微米的精度，符合半导体器件制造的最高标准。该装置还非常耐用，并配有气刀，可确保所有元素在蚀刻或灰化过程中保持清洁。LEYBOLD HERAEUS 301的工作温度范围从125°到400°C，可调节电压范围从10到35伏。该装置还具有可调深度范围和0.1至0.9微米的可调宽度范围。301有多种模式可以根据所需的过程选择。例如，蚀刻模式用于半导体器件生产，而灰化模式用于光刻和蚀刻工艺。扫描模式也可以设置为快速或缓慢操作,也可以在薄基板上使用。LEYBOLD HERAEUS 301由触摸屏界面控制，为用户提供各种设置选项，如亚微米控制、UV灯控制、PLC控制和系统监控。该设备还有一台板载计算机，便于数据记录，允许对参数进行自动和手动控制。总而言之，301是一种先进的蚀刻器/asher，可用于各种光刻工艺。其精度、耐用性、温度范围、电压范围和可调深度，使其具有很高的可靠性和准确性。它的板载计算机和界面使得各种基材和工艺易于使用和定制。
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