二手 LFE 104 #9008475 待售

LFE 104是一种为半导体加工而设计的蚀刻器/asher。这台机器能够从包括硅片在内的各种基板上蚀刻薄薄的保形材料层。104利用高功率微波发电机进行精确的深度控制以及各种工艺气体，以帮助创造所需的表面光洁度。该设备还包括用于蚀刻的脉冲等离子体源（PPS）和其他表面处理过程，如钝化和回流。LFE 104设有一个大腔室，允许蚀刻高达8'的大直径晶片。该室放置在凸起的CE瓷砖制成的四面墙之间，以帮助提高蚀刻室的寿命，同时减少交叉污染。此外,该机器还具有许多安全功能,如化学和危险材料密封、温度监测和安全锁定。104具有多区工艺室和自适应热分配系统以提高工艺稳定性,以及高速气体和化学进料单元以提高响应时间。该机器还提供XY运动和高分辨率成像的精密Z轴扫描,用于手动和自动化过程。随附触摸屏操作界面，操作方便。LFE 104能够蚀刻或灰化到标记层,如金属和多晶硅,并实现精确的表面饰面和特征密度。蚀刻处理设置可以针对各种参数进行优化,如蚀刻速率、蚀刻选择性、均匀性等,同时提供可靠的基板蚀刻轮廓。此工具非常适合高级处理,因为它可以实现高精度和可重复性。