二手 LFE 115 #9186239 待售
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ID: 9186239
Plasma planar / rie etcher
10" x 20" deep quartz barrel
1 MFC gas control
ADVANCED ENERGY RFX 600 solid state RF generator
Fomblin prepped direct drive vacuum pump
Fomblin oil not included.
LFE 115是专为印刷电路板(PCB)制造业中的应用而设计的高性能蚀刻器/asher。它采用高效的蚀刻工艺,能够以最短的时间和精力蚀刻铜轨和铜轨。设备配有风冷等离子体储存室/蚀刻室,可手动或通过机械臂用板子装卸。它具有对蚀刻参数的精确控制机制,确保在最短的蚀刻时间内进行干净、精确的蚀刻。该系统在真空环境中以受控大气压运行,创造了精确的蚀刻过程,使氧化和其他反应的量降至最低。115所使用的PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术允许同时蚀刻铜板两侧,减少加工时间,提高产量。该单元还可用于通过多层板上的孔进行拆卸。LFE 115允许用户自定义工作参数以说明正在生产的电路板的类型。该机器采用先进的编程套件设计,可以调整蚀刻速率、温度和下列可选蚀刻种类的浓度:硝酸、盐酸、硫酸、过氧化氢和氯化铁。此外,该工具还设有带有模板用户界面的内部计算机控制面板,允许用户轻松调整操作参数并监控进度。115的最大处理速度为每小时120块板,每块板最多可容纳四层,最大蚀刻深度0.3mm。该资产高度可靠,需要最少的维护,可随时处理多达200个蚀刻配方。此外,该模型还设计了一种安全机构,可以感知是否存在空的蚀刻,并在发生任何错误时自动关闭设备。这样可以确保系统在安全的效率和性能参数内运行。
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