二手 LFE 302-4IR #77365 待售

LFE 302-4IR
製造商
LFE
模型
302-4IR
ID: 77365
晶圆大小: 4"
Plasma stripper, dual 4" quartz chamber, 300 watt.
LFE 302-4IR是由LFE Technologies开发的全自动蚀刻器/灰化器,设计用于高级金属蚀刻/灰化应用。此设备的高级功能提供了最佳的蚀刻/灰化性能和卓越的吞吐量。302-4IR采用聚焦电离气体光束(IG)和金属面罩的组合,具有非常精细的蚀刻/灰化功能,可实现薄而精确的蚀刻/灰化。High Frequency (HF) Generator的设计是产生高功率输出,让IG被精确聚焦,金属掩模被精确蚀刻或灰化。LFE 302-4IR的高功率IG功能通过提供一致的结果和减少蚀刻/灰化过程中浪费的物料量来改进蚀刻/灰化过程。超高分辨率蚀刻asher能够蚀刻/灰微元件,如膜,镜片和嵴柱,提供了比其他标准asher更高的精度和精确度。该装置配有四室系统,可以在蚀刻/灰化后方便装卸装置。蚀刻/灰化室还配备了氮气净化装置,可以清除蚀刻/灰化过程后可能留下的任何残留污染物。该设备配备了直观的图形用户界面(GUI),并标配了键盘、鼠标和钥匙卡阅读器。集成的以太网连接便于远程使用,允许在必要时及时高效地进行现场维修。用户友好的GUI还允许易于控制和通信的asher进行精确、精确的蚀刻。302-4IR设计可提供精确的蚀刻/灰度处理,并具有最佳的效果和卓越的吞吐量。精确的高功率IG和高频发电机、具有污染物清除功能的四室系统和具有集成以太网连接的用户友好图形用户界面,提供了全方位的高级蚀刻器/asher。
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