二手 LFE 501 #83003 待售

LFE 501是一种超精密蚀刻器/asher,能够执行最精确和详细的蚀刻和灰化过程。它是要求在半导体、生物、纳米技术领域应用的完美机器。501采用高规格光学系统,能够在至少20 µm分辨率的表面上产生精细、复杂的图桉。通过超平滑运动控制,即使在较长的过程中也能确保最大精度。集成气体室减少过程污染，而内置洗涤器有助于减少空气污染。采用横向速度控制系统，LFE 501可随时保持快速、精确的运动，达到完美的效果。腔室设计保证了高通量，允许处理薄膜和MEMS等薄材料。蚀刻和灰化过程可以组合到一个单元中,用于多步骤应用程序,如阵列和灰化。501具有三维振动进给机制，可以调整以容纳不同的物体，使其能够处理多种材料。由于高精度的直线电动机，可以精确定位和控制运动。处理器单元采用高速微处理器，内嵌专门为LFE 501设计的软件，允许用户定义蚀刻和灰化协议。该系统还包括触摸屏显示屏，允许与设备进行方便的交互。501是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher,性能令人印象深刻。其紧凑的设计和灵活的编程使得它成为需要高精度和最大速度的应用的绝佳选择。它可以用于多种工业和研究应用，使其成为真正的多用途工具。