二手 LFE APE-110 #293631690 待售

LFE APE-110是一种动态蚀刻器/粉碎器，旨在蚀刻/粉刷各种基材，最高加工温度为1100 °C。它提供了一个用户友好的界面,并且与直径不超过6英寸的散装材料或晶片兼容。APE-110设有11区锁载系统，能快速有效地装载和卸载用于加工的基板，以及用于精确温度控制的室温监测系统。分辨率为0.5µm的高精度石英z级提供高分辨率蚀刻和灰化。可实现的工艺成果包括亚微米二氧化硅蚀刻和可比氧化物蚀刻，以及高质量的硅蚀刻和灰化。LFE APE-110专有的3D物理蚀刻功能使用户能够在难以蚀刻的基板上蚀刻无残留物的三维特征,如沟槽和图桉。此外,APE-110还具有介电室和不锈钢室,可最大程度地减少蚀刻/灰化过程中可能出现的杂质污染。LFE APE-110由强大的编程界面提供支持,使用户能够"拨入"他们的流程参数并创建复杂的配方以确保可重复和一致的结果。APE-110还有一个集成的射频源，它为更具选择性的蚀刻/灰烬操作提供了一个交替的电源。总体而言，LFE APE-110提供各种基板的高质量蚀刻和灰化，加上直观的用户界面和强大的过程控制工具。这款蚀刻器/asher可以让用户实现亚微米精度，可靠地快速、准确地产生高质量的蚀刻和ashing结果。