二手 LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #383 待售

LFE PFS-PDE-PDS 501&504蚀刻器/灰烬是当今半导体工业中使用的两种最先进的等离子体蚀刻系统。PFS-PDE-PDS 501和504这两个系统是一种进料机,它包含用于制造复杂半导体器件的等离子体工艺,具有卓越的精度和可控性。PFS-PDE-PDS 501是一种功能齐全的蚀刻设备,具有多个集成阶段和可定制的涂抹器,可用于物理和化学蚀刻任务。该系统采用提供20种不同的工艺功能组合的高精度端部效应器设计，能够处理包括硅、钼和氧化铵-锡-氧化物在内的材料。它还具有集成的多轴机器人手臂，以提供对过程的精确控制。PFS-PDE-PDS 504是一个更复杂的单元，用于图样化表面蚀刻和沉积过程。该机配备了高精度运动控制技术，可配置多种工艺，如深反应性离子蚀刻（DRIE）、纳米压印光刻（NIL）、离子束蚀刻。它还具有精确的端部效应器机械手，用于精确的物料去除，以及对基板温度和压力的精确控制。除了LFE PFS-PDE-PDS 501和504系统外,LFE还提供了一系列其他的asher和蚀刻器型号,以及各种附件和消耗品,帮助用户定制其工具以实现最佳的生产效率和性能。公司的所有产品都是为了满足客户应用程序的严格要求而设计的，同时公司还提供全面的技术支持和客户服务。总体而言,PFS-PDE-PDS 501和504蚀刻器/分类器是高度先进的系统,可为用户提供广泛的功能和功能,以满足其应用程序的需要。它们具有精确的运动控制和可定制的应用程序,非常适合各种制造任务,为用户的蚀刻和沉积作业提供了出色的准确性和可重复性。