二手 LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #83002 待售

LFE PFS-PDE-PDS 501&504是由高级高温加工工具供应商Lam Systems Ltd设计的一种蚀刻和灰化器。这种干蚀刻机主要用于从基板上去除各种薄层材料，并用于在基板上沉积薄层材料。PFS-PDE-PDS 501和504利用不同气体的多气体溷合物，通过若干入口输送到工作室内。一种多气体喷射器用于精确控制气体溷合物。内部文丘里允许创建适当的气流模式，以确保均匀蚀刻和灰化。这个设备还有两个独立的电动真空室，一个上腔和一个下腔，与一个专门的阀门相连。这个阀门可以精确控制上腔和下腔.上腔主要用于基底沉积，下腔主要用于基底蚀刻。该系统旨在提供较高的蚀刻和沉积速率以及对工艺的精确控制。它是完全可编程与计算机控制单元。这台机器允许自动控制设备的速度、压力和温度。它还会在过程变得太慢或太快时提供警报通知。LFE PFS-PDE-PDS 501&504是一种可靠、用途广泛的蚀刻器和灰化器,在去除基板上的薄层材料和将薄层材料沉积在基板上方面具有优异的性能。适用于广泛的应用，包括半导体晶圆蚀刻、MEMS器件制造、有机光伏等离子蚀刻。