二手 LOTUS SYSTEMS Sapphire #9013181 待售
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ID: 9013181
晶圆大小: 2"-4"
优质的: 2011
Etcher, 2"-4"
Automatic wet bench system
2 and 4 inch quartz carriers
Quartz baths for hot chemistries
Adjustable temperature range for etch baths:
100-300 degrees
Allowed chemistries:
Sulphuric acid
Phosphoric acid
Robotic handling system made of tantalum
Filter fan unit
Exhaust system
Automatic front gate
2nd security window
Electrical cabinet
Plc siemens s7 315-2 pn/dp
Fire suppression system
Flame detector
Chemical supply system (2) 60 liters “purus duplex”
Almatec e15 diaphragm
Pumps
Cooling system braun fwa 30kw
Automatic wafer rinsing station
Fully automated system capable of batch process etching of GaN and sapphire wafers
(2) etching modules
(1) rinsing station
Light extraction from GaN LEDs
Can fulfill the need for mass production of wet etched wafers in 2 and 4 inch sizes
2011 vintage.
LOTUS SYSTEMS蓝宝石是一款高性能的蚀刻器/asher，旨在满足行业专业人士的需求。蓝宝石是一种多功能蚀刻器/灰石，能够蚀刻包括铝、不锈钢、铜和乙烯基在内的材料。它还能够灰化光刻胶、金属和塑料表面。因此,LOTUS SYSTEMS蓝宝石为各种任务提供了经济高效的解决方桉。蓝宝石具有坚固的设计,并包含各种高级安全功能,包括集成的安全屏蔽和内置传感器,如果温度超过设定的参数,该传感器会自动关闭机器。机器以丙烷、天然气等高级气体为燃料。LOTUS SYSTEMS蓝宝石配备了双头蚀刻系统等最先进的特性，能够同时蚀刻两种不同的图桉。该单元还具有一个可编程控制器,具有多种设置,允许用户根据需要自定义其蚀刻设置。蓝宝石的另一个显着特点是它的自动清洗循环，确保在蚀刻过程中积聚的任何金属颗粒被快速高效地去除。LOTUS SYSTEMS蓝宝石还提供多种配件，包括各种蚀刻模具、气体喷嘴、安全手套和脚部开关。该单元宽敞的内饰也被设计为使蚀刻更高效，因为它很容易适应各种工具尺寸。蓝宝石还包括一个为期3年的保修，这保证了该单元将在未来几年内处于完美的运行状态。总而言之，LOTUS SYSTEMS蓝宝石是一款顶级蚀刻器/asher，旨在满足行业专业人士的需求。它提供了坚固的设计、广泛的安全功能,以及可自定义蚀刻设置的可编程控制器。蓝宝石还配有种类繁多的配件，3年保修，自动清洗周期。所有这些特性使LOTUS SYSTEMS蓝宝石成为专业蚀刻任务的经济高效解决方桉。
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