二手 LOTUS SYSTEMS Sapphire #9216259 待售
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LOTUS SYSTEMS蓝宝石是为各种半导体应用而设计的最先进的蚀刻/asher设备。它旨在满足当今先进设备制造生产线的需求,提供精确且可重复的结果。这种精密蚀刻器采用独特的气相化学输送系统,处理种类繁多的金属。其革命性的设计可以创造出多种微观尺度的模式和特征,具有最大的准确性和可重复性。这个单元能够同时进行各向同性和各向异性蚀刻,以及复杂的空间模式取决于用户的应用。该蚀刻器具有一个全面的控制机器,以确保一致的结果。它包括用于精确输送化学气体的气体压力控制器、用于精确气流控制的气流监测工具以及用于目视监测蚀刻过程的石英窗口。蓝宝石还配备了先进的人机接口(又名HMI)单元,允许定制配方和高级诊断。LOTUS SYSTEMS蓝宝石专为在研究实验室和生产线中灵活使用而设计。它具有用于简化安装和维护的模块化设计,以及CE、REACH和RoHS认证。它还被设计为与其他系统(如沉积系统和真空系统)无缝集成,并经过测试以确保最高99.99%的蚀刻精度的最佳性能。此外,蓝宝石以世界级安全系统为后盾,按照最高质量标准打造。安全功能包括用于低泄漏灵敏度的升级双密封资产、消防装置以及详细的安全文档。LOTUS SYSTEMS蓝宝石还配备了耐腐蚀材料,以保证工业和研究应用的使用寿命长。蓝宝石是一个先进的蚀刻器/asher是完美的任何和所有的蚀刻需求。无论是用于研究项目还是生产线,无论应用程序如何,它都能提供高度精确、可重复和安全的蚀刻结果。
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