二手 MARCH AP 1000 #293825661 待售
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MARCH AP 1000是一种全自动的半大气等离子体蚀刻器，设计用于各种材料的蚀刻。利用高密度等离子体对样品材料表面进行高效蚀刻，具有高精度和重复性。等离子体蚀刻器能够安全地处理各种材料，如硅、金、铝、钨和光抗蚀剂，仅举几例。该等离子体蚀刻器采用双电极设计，具有空心阴极和射频发生器。空心阴极产生的密度更高的等离子体能够蚀刻小特征，具有较高的精度和可重复性。射频发生器用于通过调制等离子体的能级和对蚀刻过程提供更多的控制来控制蚀刻速率。MARCH AP 1000等离子体蚀刻器由于具有很高的可重复性和准确性，能够在非常高的均匀性水平上实现蚀刻结果。它具有内置腔室冷却系统，有助于降低腔室内部温度并保持一致的蚀刻条件。蚀刻器还具有各种各样的安全功能，如高温和压力监测器、压力传感器和气体排气口。这个等离子体蚀刻器的设计考虑到了易用性，并配有一个用户友好的液晶界面，提供详细的操作信息。顶部安装的平板电脑输入系统允许用户轻松编程蚀刻过程并实时监控其进度。AP-1000还具有实时过程控制功能,可确保从一个批处理过程到下一个批处理过程的结果一致。总体而言，AP 1000等离子体蚀刻器是任何要求精密蚀刻且具有高可重复性和准确性的组织所必需的。该等离子体蚀刻器具有用户友好的液晶界面和内置的安全功能,是确保各种材料中一致蚀刻结果的理想选择。
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