二手 MARCH AP 1000 #9114384 待售

MARCH AP 1000是一种蚀刻器/asher设备，非常适合广泛的基于等离子体的过程，如溅射和蚀刻。该系统能够处理各种各样的基板，包括硅和复合半导体、玻璃、金属、陶瓷和有机材料。该单元配备了先进的电源，提供直流和脉冲电源操作，以及一个多口袋的非磁性进程室，允许多个进程同时运行。MARCH AP 1000还具有温度控制环境,可在整个工艺室实现精确的温度调节和均匀性。AP-1000设计具有先进的工艺室，确保最大程度的均匀性和性能。它具有80 rpm的旋转速率，能够设置多达8个进程参数，允许用户执行各种进程，如溅射、蚀刻或两者的任意组合。该机器还能够产生高达3.5CFM的气流，并具有处理直径达8英寸的晶片的能力。此外，它还配备了真空计、报警工具和安全资产，在可能出现问题时提醒操作员。AP 1000还包括多种高级控制和监控功能。例如,该模型包括一个自动过程控制（APC）设备,使用户能够快速轻松地设置任务。对于进一步的过程控制和监控，系统还有一个流量和压力表来控制气流，一个内部真空控制单元，手动压力控制，以及过载保护。AP 1000是用于蚀刻、溅射等过程的理想机器。它能够处理各种各样的基板，包括硅、玻璃、金属和有机材料。此外，该工具还配备了多种安全控制功能，以确保操作员拥有最高程度的安全和过程控制。最后，它的多功能设计以及先进的控制和监控功能为用户提供了基于等离子体的过程的最佳解决方桉。