二手 MARCH AP 1000 #9172903 待售

MARCH AP 1000是为专业半导体制造市场而设计的高品质蚀刻和asher。它是一个完全自动化和可编程的平台，配备了广泛的高级功能，以确保一致和高质量的处理。蚀刻器配备了先进的气相蚀刻技术，提供了高质量的蚀刻速率。该平台还配备了自动调谐器、安全设备和获得专利的气流监测技术。系统的主要功能是晶圆的蚀刻和灰化。晶片放置在加工室中，并暴露于辉光放电等离子体、低压氧气和其他加工气体的组合中，从而在基板表面实现所需的蚀刻图桉。机器还设有一个粒子密封装置，以保护机器免受有害粒子的伤害。该蚀刻器具有先进的射频发生器,可精确控制蚀刻和灰化过程。发电机能够产生可重复的高频信号，频率范围从1MHz到120MHz。它还具有从5V到1000V的电压范围,可以设置为恒定输出,也可以向上或向下倾斜以达到特定蚀刻材料的适当工作水平。MARCH AP 1000的安全工具是一个重要的特性，特别是对于具有危险过程的应用。它具有互锁资产以防止未经授权的访问,以及E-Stop,如果检测到不安全的情况,它会自动关闭整个进程。机器还有一个状态监视模型，当某个过程完成时，它会提醒设备操作员。AP-1000是一种可靠的蚀刻器和灰化器，适合生产各种半导体器件和组件。它具有用户友好的界面和多层次的自动化，使其能够用于大型批量生产设施。它也可以用于研究和开发，因为它具有高度的可配置性，并且可以很容易地适应新的和具有挑战性的应用。AP 1000是一种功能强大、用途广泛且可靠的半导体制造环境设备。