二手 MARCH AP 1000 #9243188 待售

ID: 9243188
Plasma cleaners 2000-2001 vintage.
MARCH AP 1000是一种蚀刻器/asher,专为提供准确、均匀的蚀刻和具有过程一致性的ashing结果而设计。它针对微小尺寸的基板,如晶圆、滤波器和陶瓷元件进行了优化。该型号配备了用于批量或单片加工的大功率单站。蚀刻器/asher采用高级流程管理系统进行设计,允许即时保存和应用自定义流程配方。它还具有图像识别技术和数据分析功能,允许用户确保一致的结果和可重复的表面质量。此外,MARCH AP 1000内置的功能提供了一个直观的用户界面,简化了机器的操作。该蚀刻器/asher具有全新的ICP无毒等离子体源,其设计是为了安全和节能。这种等离子体源消除了对有毒气体的需求,使其适合洁净室应用。ICP等离子体源技术还保证了均匀的蚀刻和灰化结果,具有更高的工艺重复性和更少的底物缺陷。除了其高性能和卓越的能力外,蚀刻器/asher还通过结合氮气流量、压力和温度监测系统以及先进的诊断能力,提供增强的安全功能。这允许用户确保在蚀刻和灰化过程中风险最小化。AP-1000易于安装和设置,并带有各种选项,可根据特定需求进行定制。它还被设计为与它的其他高端产品兼容,比如它的蚀刻室、基板支架和机器人手臂。这使用户能够最大限度地提高流程效率和吞吐量。总体而言,AP 1000是一款功能强大且直观的蚀刻器/asher,专为提供准确且统一的蚀刻和灰化结果以及过程一致性而设计。它为用户提供了便利和高效地优化其微型基板工艺所必需的工具和功能。
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