二手 MARCH AP 1000 #9248120 待售

MARCH AP 1000是一个高性能蚀刻/灰烬工场，适合广泛的工业和研究应用。MARCH AP 1000是一个模块化系统,具有开放式框架设计,可轻松安装和扩展附加功能。AP-1000的核心是高分辨率模式发生器，用于精确控制蚀刻和灰化过程的参数。这允许用户创建高细节的错综复杂的模式，同时仍然具有良好的材料量的可控性去除。发电机采用先进的Opto-Coupling方法建造，可实现精确的电流控制和低功耗。在蚀刻方面,MARCH AP-1000采用了超纤细的镀镍蚀刻头,该蚀刻头的设计具有很高的可重复性、最小化的污染和均匀的蚀刻电流分布。这个头有一个专门的加热器，可以让用户精确调整蚀刻的温度。蚀刻头可调节,允许垂直和水平运动。AP 1000还具有带集成真空泵的Ashing腔室,可容纳一系列的Ashing容器。容器被加热到高温，允许材料的高效粉刷。真空泵效率高，污染低，噪声性能低。AP 1000还可以与一系列附加功能集成,例如用于监视蚀刻进度的流量监视器和用于精确控制工艺温度的温度控制器。它还可以与计算机控制的自动化系统集成，允许同时控制多个蚀刻和灰化过程。总体而言,MARCH AP 1000是一个可靠且用途广泛的蚀刻/灰分车间,允许进行一系列复杂的蚀刻和灰分工艺。它结合了高分辨率模式发电机、先进的镀镍蚀刻头和带真空泵的集成ashing腔室，为用户提供了一个高度可靠和高效的系统。