二手 MARCH AP 1000 #9267760 待售

MARCH AP 1000是为半导体台式加工而设计的蚀刻器/asher。它是一个可靠、低成本的小型项目解决方桉,允许单个用户快速、准确地绘制图样并精确地移除材料。MARCH AP 1000是使用射频发生器和机械驱动系统将要蚀刻的零件转移到等离子体或IIR清洁室安装的压板上的一种基准蚀刻器/垫片。阴极电弧离子源，加上集成工艺监测器，提供了高达1000 MHz速度的有效蚀刻解决方桉。蚀刻和灰化过程通过易于使用的控制面板进行控制,该面板允许快速设置和参数更改。综合气体歧管设置允许处理各种气体，例如SF6和CF4，而使用4象限快门系统则可以同时处理多达五个部件。这样可以进一步提高蚀刻工艺的速度。AP-1000包括许多高级功能,例如样品预处理适应选项、冷却鼓风机、过程监控、故障消除和易于维护。该装置包括一个电源监视器，在压力和温度控制期间提供准确性，以及电压监测。此外,500毫米（20英寸）的开口还可以方便地访问样品,从而以最小的中断处理样品。总体而言,MARCH AP-1000是各种半导体工艺的理想蚀刻器/灰化器。它是一个可靠、低成本的小型项目解决方桉,允许单个用户快速、准确地绘制图样并精确地移除材料。该系统易于使用,其自动化功能可实现快速、高效的生产运行。