二手 MARCH AP 1000 #9311918 待售

MARCH AP 1000是由MARCH Instruments制造的asher或蚀刻器。它是一种独立的、用于蚀刻基板的台式顶部设备，通常是III组和IV组半导体，精度和精确度都很高。它配备了一个单件石英腔室，以及一个可编程逻辑控制（PLC），可以对温度、压力、流量等方面进行精确控制。控制系统是高度可定制和可编程的,允许复杂的蚀刻过程.该单元采用电子束源，能够进行高度的过程控制，并可用于各种专门的蚀刻过程。MARCH AP 1000具有处理1至6英寸厚基板的广泛基板的能力，广泛应用于半导体工业的各种蚀刻工艺，如深反应性离子蚀刻（DRIE）、离子铣削和等离子体蚀刻，以及用于制造电光产品。AP-1000旨在提供可靠和可重复的蚀刻工艺，使其成为半导体生产工艺中的热门选择。MARCH AP-1000可以配备多种工艺气体，包括​​氙气、氧气、氙气和氮气。还可以使用可选的质量流控制器来监测和调整流量和压力。此外,还提供了一系列存储库选项,具体取决于流程。AP 1000凭借其自动卡带-卡带基板处理机和获得专利的自动冲洗工具，已被证明是半导体行业中可靠的主力。