二手 MARCH AP 1000 #9409427 待售

MARCH AP 1000 Asher是一种自动化晶片蚀刻器/asher,其平台配备了两个独立的气体面板和四个温度区域。它用于根据用户定义的参数处理尺寸不超过6英寸的晶片。设备的气体面板可以使用多达20种不同的气体，每个气体面板都采用独立控制的观察窗。这允许实时监视蚀刻过程。MARCH AP 1000设计具有最先进的扫描能力,并配备了先进的视觉系统,以确保蚀刻过程中的准确性。这个单元使用了与光学成像机同步的聚焦电子束，使其能够精确瞄准要蚀刻的材料。集成的晶圆运动工具通过允许晶圆在蚀刻机内移动以均匀分布蚀刻过程来确保速度和精度。这四个温度区使蚀刻器能够更好地控制热过程，每个独立的区域能够在0°C到400°C的范围内加热和冷却。这使AP-1000能够对不同的晶片施加不同的温度。此外,AP 1000还包括一个自动泛滥/清除资产,以提供清洁的工作环境。MARCH AP-1000是自动化和精确蚀刻操作必不可少的工具。该模型提供了可调气体压力和温度、独立区域温度控制以及高效扫描和成像功能等优点和特点的集合。这种设备使用户能够彻底有效地控制蚀刻过程，确保生产具有预定模式的晶片的精度和可重复性。