二手 MARCH CS 1701 #9149586 待售
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ID: 9149586
晶圆大小: 4"-6"
Reactive Ion Etch (RIE) system, 4"-6"
Automatic tuning
Mass flows:
100 Sccm
250 Sccm
N2 Purge
(2) Clam shells
Power: 0-600 Watts power (AE RF Generator RFX-600).
MARCH CS 1701是一款蚀刻器和asher,专为紧凑高效的操作而设计,制造商可以在其生产线内进行集成。它是一种全自动蚀刻和灰分溶液,与最常见的工艺化学方法兼容,因此非常适合生产环境。蚀刻器和asher带有一个内置的计算机控制设备,高度精密,操作简单。设置和校准任何所需工艺化学物质仅需几分钟,从而减少蚀刻错误或浪费宝贵资源的风险。该系统采用LCD触摸屏显示屏,用户可以控制、监控和微调流程,从而实现最大效率和可靠性。为确保安全,蚀刻器和灰化器设计有几个安全功能,如故障安全温度控制、压力控制和气体监测系统。此外,蚀刻器和asher可以使用几种类型的气体,从而更好地控制整个过程。它有一个强大的通风装置,一个紧急关闭机器,和一个HEPA过滤工具,以确保正确清除任何气体或颗粒。MARCH CS-1701设计时尚而现代,经过精心设计,可轻松融入任何生产线。高效可靠的操作还提供了在各种基材上的精密蚀刻和灰化。其先进的设计使它可以同时处理几乎任何厚度的有机和无机材料,而无需任何翘曲或破碎。蚀刻器和asher提供了高的生产吞吐量速度,使其成为大容量操作的理想选择,因为时间和速度至关重要。它易于使用的特性和快速的设置使其非常适合短时间生产运行或快速原型设计。另外,它具有经济效益,因此制造商可以节省资金,同时仍能获得出色的效果。
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