二手 MARCH CS 1701 #9268939 待售

MARCH CS 1701是一种全自动蚀刻器/asher,旨在支持需要高精度微加工的连接系统。其特点包括用于蚀刻和灰化工艺的工艺范围从0.5微米到10微米不等，同时其精度和可重复性确保了材料的最大质量。该设备可用于制造半导体器件、MEMS、生物芯片、印刷电路板和显示面板等应用。Etcher/Asher采用模块化设计,可提高工作效率和灵活性。它能够支持两种工艺模式：批处理和单晶片。批处理是在必须处理大量工件的情况下使用的，而单晶片处理对于小批量或高精度加工则具有很大的优势。Etcher/Asher可以支持多种工艺气体，包括氯、氧、六氟化硫、氮、氦和氢。它还支持包括铝、铜、硅、砷化的不同基材材料。对过程条件的精确控制，包括压力、温度和浓度，允许优化过程参数以获得最佳结果。除了蚀刻和灰化过程外，系统还具有实时监控功能，以改进过程监控和数据收集。它可以测量和传递每个腔室的压力、温度和流量，以及蚀刻罐中的电解质水平和电流。这些还可以通过触摸屏界面显示，用户可以在其中访问额外的信息，如每个腔室的总处理时间、经过时间以及瞬时压力、温度和流量。该单元还配备了一系列安全功能，以确保过程的安全运行。其中包括压力传感器和每个腔室中的互锁，以及带有警报通知的温度和流量传感器。房间的门也可以远程进入，以确保所有人员在打开房间门时都离开该区域。此外,泄漏检测技术还监视密封室的密封件,以保护人员和产品免受危险泄漏。该机可以集成到广泛的自动化系统中，以确保过程控制的整体效率。这样可以提供更大的灵活性和简化整个过程的能力。该工具还具有用于精确运动和精确位置控制的高性能运动控制能力。它易于设置和操作,可最大程度地减少停机时间并提高效率。