二手 MARCH Fiex Trak #9148640 待售

MARCH Fiex Trak是一款高级蚀刻和灰化设备，专为满足半导体器件和包装制造的需要而设计。凭借创新的多阶段蚀刻系统，Fiex Trak为各种晶圆尺寸、材料和工艺提供了一系列蚀刻工艺。MARCH Fiex Trak利用其电感耦合等离子体（ICP）功率的600W,提供一系列工艺气体构型的均匀蚀刻。高容量的RIE蚀刻有效地处理了几乎所有的基材，包括硅、SiO2、石英等。Fiex Trak的高级单元软件控制所有蚀刻参数，以确保在指定晶圆尺寸下的最佳工艺均匀性。此外，MARCH Fiex Trak还包含了先进的Asher功能，启用了用于晶圆级封装、翻转芯片组装和无铅焊接的大容量等离子灰工艺。Fiex Trak通过其集成的灰烬管理机器，以一致的统一和可重复的过程控制准确地执行灰烬过程。MARCH Fiex Trak旨在为各种半导体制造工艺提供高性能结果。凭借其先进的工具软件、易于使用的用户界面以及先进的等离子体蚀刻和灰烬工艺，Fiex Trak是那些寻求以最高的操作效率实现最高级别工艺性能的人的理想选择。它的先进技术确保了一个快速可靠的过程，每次都会产生一致的高产晶片。