二手 MARCH FlexTRAK-SH #293629358 待售

MARCH FlexTRAK-SH是MARCH, Inc.生产的功能齐全、低成本的蚀刻器/asher设备。该系统非常适合快速原型设计、快速设备制造和研发项目。它具有360度、多晶片装卸能力，具有EST（简易自旋转移）真空卡盘，保证了晶片的精确和安全定位。该装置是为安全可靠的操作而设计的，其特点是所有组件都被封闭在一个共同气流（CAF）腔室中，以及一个创新的保护机器，以防止对敏感装置结构造成任何化学损害。这一工具还提供了高效的热通量剖面，因为所有组件都是为了优化反应化学品的路径而设计的。直观的用户界面使用户能够控制所有资产参数，而精确的运动控制和预编程配方的完整ESP （Pattern）库则允许快速、精确和可重复的晶片处理。FlexTRAK-SH模型也是环保的，消除了任何与操作化学加工设备有关的环境问题。这是由于完全密封、无烟的强化疏散系统和提供的安全清洁的操作。最后,为了最大程度地提高流程效率,MARCH FlexTRAK-SH单元配备了一个完全集成的集中控制器,它提供了一个统一的自动化平台来控制所有机器参数,从而可以轻松集成到现有的特定于工具的配方库中,并支持远程操作和数据分析。