二手 MARCH FlexTRAK-SH #9232254 待售

MARCH FlexTRAK-SH是一款为微加工实验室设计的蚀刻器/asher，为用户提供了广泛的应用。该设备具有高度的精确度，具有自动化的可编程配方控制以及标准的旋转和晶圆轨迹。它还与MARCH 'Trak-Tool'完全集成。这使得晶圆处理和蚀刻配方的开发无需任何编程。系统维护也低，操作方便。FlexTRAK-SH具有"太阳神"腔室设计，包括两个射频感应耦合等离子体源。这提供了PECVD和PE-CVD工艺的蚀刻,如LPCVD、LPCVD OIS、OLED和ECR。这也让用户能够达到很高的等离子体密度和均匀性，即使晶圆尺寸很小。The 'Helios' chamber also features a z-flight scan line option, for uniform intection of large wafers with large aspect ratio.MARCH FlexTRAK-SH还提供可变蚀刻速率，具有蚀刻包括氧化物、氮化物、多晶硅、金属和金属合金等材料的能力。它还能够蚀刻直径达12英寸的晶片。该单元配备了外封安全系统，以确保用户安全，并防止化学物质泄漏。蚀刻器/asher还具有一系列检测压力、温度和O2水平的过程传感器，这些传感器提供了对蚀刻过程的精确控制。FlexTRAK-SH是一种功能强大、用途广泛的工具，易于操作，适用于广泛的实验室应用。它使用可定制的配方和软件工具提供高精度和准确性,以确保可靠和可重复的结果。其先进的"太阳神"腔室设计进一步提高了机器的性能，确保了均匀、均匀的蚀刻率生产。蚀刻器/asher还有一系列安全措施，以确保其使用者的安全。