二手 MARCH FlexTRAK #9101089 待售

MARCH FlexTRAK是一款用途广泛的RF asher/etcher设备,专为精度、成本效益和效率而设计。它结合了最现代蚀刻技术的最佳方面和用户友好平台的灵活性。该系统用途广泛,能够处理高级制造过程。该场由三个同心射频环勾勒出轮廓，这些环将气体环境分成三层，可以进行有效调整，使蚀刻过程能够在高度精确的温度、压力和流动条件下发生。该设计允许将单个配方的利用率接近100%,以实现复杂的模式。该单元的核心是一个坚固、高功率的射频模块，能够在400千赫兹至4兆赫兹的频率下提供高达500瓦的功率。其精确度为两阶精确度优于同类模块。高频允许更快的蚀刻时间和更高的产量。FlexTRAK还有一个集成的可编程控制器，它提供了用户和机器之间的交互界面。这允许完全控制蚀刻过程,包括过程气体、温度、压力和腔室门动作。控制器可轻松配置和运行复杂的配方,并具有调试和修改流程参数的灵活性。此外,该工具还具有主动冷却功能和强大的控制资产,可确保整个样品的蚀刻深度均匀。这使得模型的效率很高，并且提供了对蚀刻深度和均匀性的精确控制。设备受湿度控制，以确保介电特性在整个过程中保持一致。最后,系统的设计考虑了安全性.蚀刻室保持恒定压力，确保不能将有害物质引入机组，所有活动部件都有安全关闭装置，确保不会因人为错误而损坏任何部件。总体而言,MARCH FlexTRAK是精密蚀刻项目的理想射频灰度/蚀刻机。它结合了最新的蚀刻技术和非常精确的控制、用户友好的软件以及卓越的安全功能。它还具有高度的通用性,能够轻松处理复杂的过程。