二手 MARCH FlexTRAK #9210328 待售

MARCH FlexTRAK是一种专门为最大化晶圆蚀刻和灰化过程的效率而设计的蚀刻/灰化设备。该系统是一个完全自动化的解决方桉，它提供了低蚀刻加载时间、快速的过程调度和出色的配方一致性。是生产研发应用的理想之选。该装置基于先进的压力控制可变动力架构，提供卓越的卡盘稳定性和配方重复性。这样可以确保一致的蚀刻和灰分轮廓,并减少产生结果的时间。机器的自动化过程调度功能还允许快速生成适合任何特定应用程序的蚀刻配置。FlexTRAK的设计非常紧凑,易于安装,操作需要最少的培训。该工具由两个腔室-一个蚀刻腔室和一个灰烬腔室-连接到两个自动机器人。这些机器人负责在腔室之间转移晶片，并将晶片装卸到蚀刻腔内。MARCH FlexTRAK配备了高级流程控制器。该控制器采用直观的8.4英寸彩色触摸屏,操作方便。盒子里还有一个高通量的光学成像资产，可以准确地监控蚀刻和灰烬过程。FlexTRAK有一个独特的加载模型，可以在其蚀刻室中加载多达25个晶圆。设备的负载锁自动承载和锁定感兴趣的晶片到位精确和可重复的结果。MARCH FlexTRAK还提供了广泛的内存和配方设置功能。这允许用户保存所有蚀刻和灰烬配置,以便于访问和可重复性。这些设置存储在易于访问的内存库中,从而可以轻松生成所需应用程序的精确蚀刻和灰化设置。总之，FlexTRAK是一种先进的蚀刻和灰化系统，具有优异的卡盘稳定性和良好的配方一致性。它易于安装,需要最少的培训,并且能够在一次运行中处理多达25个晶圆。该单元还提供了许多方便的功能,包括直观的触摸屏、快速处理计划和自动配方存档。