二手 MARCH INSTRUMENTS Plasmod #9236960 待售

MARCH INSTRUMENTS Plasmod是一个完全自动化的蚀刻器/asher,非常适合集成在您的过程中。它通过其最先进的等离子体技术提供高质量的蚀刻和灰化。整个设备被封闭在一个密封的单元内，不需要额外的安全措施。操作简单，具备触摸屏人性化界面方便。Plasmod用途非常广泛,包括多种配置,可实现最佳流程操作。该蚀刻器为包括无定形和多硅在内的多种材料提供高分辨率蚀刻。这种多功能性可以为各种应用程序创建复杂的模式和结构。灰化器提供了一个快速的灰化循环，以快速去除残留的碳和光致抗蚀剂薄膜，同时保留所有的下面的粒子。系统还包括一个流程监控单元，记录所有流程设置和参数。收集到的数据可用于改进蚀刻或灰化过程。此外,遥控器还可以轻松集成到其他设备中。此外,MARCH INSTRUMENTS Plasmod可以连接到PC,用于数据传输和远程过程监控。该工具配有用于干燥、蚀刻、灰化工艺的内置气体入口，并配有可互换的气体管线，方便使用。内部加热器确保过程中气体的适当稳定。此外，煤气管线还包括一个安全阀，以防止事故发生。此外，Plasmod以其专用的过滤资产设计为最大限度地减少污染物颗粒。该模型利用内置的高质量差分泵浦设备从蚀刻室中提取污染物和颗粒。这样就产生了极干净的表面结果，微粒极少，从而实现了良好的薄膜转移和提高产量。MARCH INSTRUMENTS Plasmod是一个非常可靠的系统,可用于多年的运行,维护要求最低。Plasmod具有易于使用的触摸屏界面和简单的设置，是蚀刻和灰化工艺的理想选择。它提供了通用的设置、全面的过程监控和干净的结果,以促进产品产量。