二手 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9156928 待售

MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000是一种蚀刻/asher系统，旨在使基板基板的生产具有高精度的蚀刻和底切特性。PX 1000非常适合半导体、显示器和MEMS应用,因为它能够精确控制蚀刻过程,并且可以灵活地将较小的基板蚀刻到较大的尺寸。MARCH INSTRUMENTS PX 1000采用LAM，或激光烧蚀加工。PX 1000由激光束和受控但可调节的基板级组成。这使得蚀刻过程能够精确完成，同时声称的高吞吐量率高达每小时10,000晶圆。MARCH INSTRUMENTS PX 1000有S基板版本、T基板版本两种型号。S基板版本设计为蚀刻350 um至8 mm不等的基板，而T基板版本设计用于350 um至4 mm之间较小的基板。PX 1000配备了晶片边缘定位技术，允许晶片相对于其中心精确定位。这提供了精确的蚀刻，并允许晶片被切割与最佳角度对准。MARCH INSTRUMENTS PX 1000还具有主动基板调平能力，在有限的区域内补偿弓和倾斜精确到5微米。PX 1000能够提供较高的光刻精度,且角蚀刻公差小于1度。晶圆级的热控制也很精确，温度范围为15至25摄氏度。MARCH INSTRUMENTS PX 1000能够同时蚀刻石英和玻璃基板，并且100%的洁净空间兼容。符合EMC和CE等行业标准,并且该机器也符合环境要求,如RoHS。PX 1000具有用户友好的界面,并包含诊断程序,使操作员能够监视机器的状况并确定所需的任何维护。该系统配有机载计量软件，用于维护过程控制，以及用于晶圆监控的软件。MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000是一款基于精确和性能设计的蚀刻器/asher系统。它具有较高的光刻精度、精确的热控制和晶圆边缘定位能力。此外,它易于使用,并符合行业标准,因此适合各种半导体、显示器和MEMS应用。