二手 MARCH / LKT FlexTRAK #9396547 待售

MARCH/LKT FlexTRAK是LKT Instruments的一个创新蚀刻器/asher单元。这种坚固可靠的设备为用户提供了微电子、先进半导体封装和MEMS制造等多种蚀刻工艺。LKT FlexTRAK装置具有业界领先的多步蚀刻工艺专利,可减少循环时间,从而提高各种材料（包括铜、氧化铝、硅、玻璃和其他精致基板）的吞吐量和产量。MARCH FlexTRAK的高级功能包括用于改进工艺性能的多气体溷合、用于最大蚀刻效率的双排气口以及用于节省空间的低调设计。其4.7英寸液晶彩色触摸屏用户友好，提供状态和报警指示的图形显示。它具有高度可配置的功能,可扩展多达8个流程模块。这允许用户自定义其流程操作,以最好地满足其独特的要求。此外,FlexTRAK还配备了许多有用的安全功能,以确保安全运行,包括记录和跟踪流程活动的审核功能、紧急停止按钮以及改进的屏蔽功能,以防止发生任何意外的等离子体活动。MARCH/LKT FlexTRAK在众多市场和行业的各种高级蚀刻应用程序中提供卓越的性能。它非常适合多种材料，包括Si、SiGe、GaAs、GaN，以及其他用于半导体制造的优质材料。高效的组件、易于维护和值得信赖的网络都是LKT FlexTRAK的标志。MARCH Instruments致力于为客户提供最优质的蚀刻器/asher。MARCH FlexTRAK以业界领先的保修和各种高级功能为后盾,确保其客户的卓越性能,并能够制造出任何精致的基板。凭借其可靠的可靠性和多功能性,FlexTRAK确保为用户提供卓越的蚀刻工艺效果和最大吞吐量。