二手 MARCH P-1000 #9184478 待售

MARCH P-1000是一种等离子体蚀刻器/asper，一种用于半导体和电子工业的机器，用于蚀刻、离子铣削和其他相关工艺。该机基于先进的MAGIC（磁控辅助气体注入室）技术，有助于有效控制工艺参数，减少等离子体负荷。它是一台全自动机器，配有触摸屏，可以让用户轻松设置和控制过程参数。P-1000能够在4到6英寸的多个晶圆尺寸上工作，并配有两个气体喷嘴，用于控制空气或惰性气体流动。这有助于优化等离子体轮廓和溅射速率。该机还设有远程等离子体发生器，使用户可以方便地监控过程，并根据使用的材料类型调整参数。该机具有高性能离子源，产生强大的离子用于蚀刻和溅射操作。其强大的磁控管有助于制造均匀的离子轰击，减少暗线缺陷的发生。为进一步提高其性能，该机配备了一个独立的、高分辨率的气阀系统，用于控制和监测过程中的惰性气流。此外，机器还具有压力、温度、射频功率等多个可编程的用户定义参数，允许用户根据自己的应用量身定制蚀刻过程。MARCH P-1000机效率高、可靠，可连续操作，长期运行，停机时间最短。其先进的安全措施通过在超过安全限值时阻断机器的功能来确保操作员的安全。该机器还具有自我监控程序，有助于及早发现和预防故障。这些健壮的特性使P-1000成为半导体工业中蚀刻和溅射应用的最佳选择。