二手 MARCH Plasmod #9058869 待售

MARCH Plasmod是一种最先进的蚀刻技术，用于制造各种材料表面的纳米级图桉。它利用物理化学过程的组合，如深反应离子蚀刻（DRIE）和原子层沉积（ALD），在表面上形成化学上不同的图桉。Plasmod设备是一个集群工具，由几个模块组成，以实现模块化的方式来设计纳米尺度特征。例如，核心模块包含等离子体源和蚀刻/清洁室，以及一组电极。除此之外，每个模块可能包含一组不同的气体、通量和冲洗连接系统、压力控制器、电源和互锁。使用MARCH Plasmod系统的第一步是为蚀刻工艺准备合适的基材。这是通过在基板中创建具有高表面积的阵列来实现的。这是通过结合光刻、射频溅射和化学蚀刻技术来完成的。一旦完成，基板就被放置在Plasmod单元的核心模块中。一旦进入核心模块，基板就暴露在高功率和低频的射频等离子体中。这会产生强烈的蚀刻化学反应与被蚀刻的材料，导致所需的图样在表面上。在这个过程中，基板需要进行清洁、蚀刻速率和温度的监测，通过调节功率水平和气体流量可以根据需要进行调节。一旦蚀刻完成，MARCH Plasmod机可用于原子层沉积（ALD）过程。ALD是一种沉积技术，用于在基板表面创建均匀的薄膜。这是通过交替将底物暴露于两种不同的前体，然后将它们聚合形成材料的单原子层来完成的。一旦沉积过程完成，基板就被清洗，准备从Plasmod工具中取出。根据应用类型的不同，特征大小可以从几纳米到几微米不等。MARCH资产也可用于金属、陶瓷、聚合物等材料。综上所述，MARCH Plasmod是一种先进的蚀刻模型，能够在广泛的基板上创造纳米尺度的特征。