二手 MARCH Plasmod #9100079 待售

MARCH Plasmod是一款蚀刻器/asher，专为研发先进材料而设计，应用范围广泛，从半导体技术到医疗仪器。Ashing过程用于创建均匀的薄膜层,从基板表面移除不需要的元件,从而可以精确控制薄膜尺寸和特征尺寸。蚀刻和灰化过程使用精确结合温度、压力和流速的气体溷合物来去除和或烧蚀不需要的材料。等离子体的核心部件由工艺室、预淋浴、加热器、气源、气体歧管、冷却单元和螺线管控制阀组成。多用途蚀刻器/asher的模块化设计允许用户从各种可定制以创建特定应用程序的流程选项中进行选择。MARCH Plasmod 蚀刻器/asher具有先进的加热技术,可精确控制温度、清洁和蚀刻过程。它还具有具有可变电阻和感应加热能力的多工程腔室，以及四条独立的气体管线，以实现完整的工艺控制。采用0~3300 SCCM的可选择气体流量优化腔室尺寸，非常适合小批量或大批量生产。Plasmod的结构采用了先进的材料，并具有耐腐蚀、高真空等级的不锈钢内饰，以实现最大的耐用性。MARCH Plasmod还采用了用户友好的可编程功能，能够快速、精确地控制工艺参数。它有封闭式和开放式两种样式,可用于容纳各种应用程序。等离子体设备提供了许多高级功能,以确保精确、可重复和经济的过程。其直观的图形用户界面旨在轻松调整灰化过程的复杂参数。该系统还具有自动化的过程控制、充足的可编程功能以及全电路报警监控功能，以提高生产率和成本效率。此外,MARCH Plasmod还包括高级安全功能,可保护用户免受意外接触有害材料的影响。总体而言，Plasmod 蚀刻器/asher是为先进材料研发而设计的先进可靠单元。它具有模块化设计、直观的用户友好图形界面、高级过程控制、自动化过程控制以及众多安全功能。MARCH Plasmod是为各种应用寻求可靠、经济的蚀刻和灰化工艺的人的理想机器。