二手 MARCH Plasmod #9225186 待售

MARCH Plasmod是一种反应性离子蚀刻（RIE）asher设备，设计用于执行蚀刻和一般的灰化过程。它是为高通量蚀刻而量身定制的，因为它能够同时处理多个样品。该系统可通过其触摸屏用户界面进行控制,该界面允许精确的蚀刻和处理功能。该机组利用高频13.56 MHz电源产生等离子体能量，提供高功率RIE处理能力。这种能量也被用于瞄准和蚀刻样品表面，提供干净、高分辨率的结果。该机器进一步利用气体输送工具进行精确处理。每个过程都可以使用内置控制器进行微调，允许开发各种蚀刻配方，并存储在控制器内以供将来使用。该资产还具有内部真空泵模型，允许在蚀刻过程中快速、高效地改变气体。该设备在一个多温度控制的真空室内运行，与单个真空室系统相比，可以提供更高的等离子体损伤保护。这进一步确保了蚀刻的结果具有很高的一致性和质量。降低协议的复杂性是系统的一个关键功能,允许经验丰富的用户在几分钟内设置协议。此外,还对用户界面进行了定制,以减少在创建协议时联锁和调整每个参数的数量。该单元与一系列样品材料兼容，包括硅、有机物、无机物等等。它能够在一次运行中蚀刻几种类型的材料,从而为原型设计或样品变化测试提供更大的灵活性。该机结合了设计特点，以确保最佳蚀刻模式。这些包括减少反应性离子和等离子体污染、自动压力控制和可重复的过程结果。该工具的设计考虑了安全性、性能和灵活性,使其成为任何蚀刻工艺的理想合作伙伴。