二手 MARCH Plasmod #9234905 待售

MARCH Plasmod是一款高科技、全自动蚀刻和灰尘设备，设计用于微电子器件的制造和材料沉积。利用高频无线电波有选择地在半导体晶片或其他基板上沉积或蚀刻微电子结构。该系统独特的物理气相沉积技术提供了高精度、低温的工艺，可以针对各种材料和应用进行量身定制。该装置的特点是具有高沉积和蚀刻速率的等离子体源，以及提供全面现场缺陷监测的集成火焰成像机。等离子体可以在300至1000°C的广泛温度范围内进行精确、可重复的蚀刻和沉积过程。每个周期的高速、无人操作过程一直持续到完成,并提供出色的可重复性和控制性。由于材料和气体种类繁多，该工具可根据具体材料、工艺和环境要求量身定制。它还能够进行复杂的模式和缺陷分析。自动化资产包括一个集成的软件包,该软件包具有可定制的编程功能,可根据用户的特定需求进行调整。它配备了实时过程控制模型，确保产品质量一致，并提供在沉积或蚀刻过程中调整和监控参数的能力。该设备的设计为材料沉积提供了几个优点，包括高电导率、低介电常数、低电阻率和低温运行。MARCH Plasmod先进的计算机辅助设计软件使其能够适应各种各样的材料和应用环境。等离子体是微电子器件制造和其他需要高精度和重复性的应用的理想选择。它非常可靠，易于操作，并且能够产生可靠、高质量的模式。它具有自动化操作和快速、准确的沉积，被证明是一种宝贵的生产工具。柔性系统可以量身定制，以适应各种基材和工艺，是可靠蚀刻和沉积性能的行业标准。