二手 MARCH PM-600 #9118779 待售

MARCH PM-600是一个自给自足的等离子体蚀刻器/asher理想的工业生产和科学/研究用途。作为一种高效的等离子体蚀刻/灰化工艺,PM-600设计用于不锈和非金属基板的精确、快速和安全的蚀刻/灰化。设备配有三级真空室，由低速直驱旋转泵驱动，性能优越。该室配有一个综合臭氧检测系统，可在蚀刻/灰化过程中对真空单元内的残留臭氧污染进行简单和准确的测量。MARCH PM-600采用高分辨率、可编程和可调节的扫描级，将基板精确定位在射频线圈下。这样可以快速、精确地蚀刻和粉刷具有均匀性和可重复性的基板。提供给基板的射频能量可以通过可变电源进行精确控制，并且可以针对不同的蚀刻/灰化过程进行调整。PM-600具有气流控制机,可对蚀刻/灰化气体进行精确的流量和压力调整,进一步全面控制蚀刻和灰化变量。此外，该工具还包括冷却气体电路，以冷却基板，以实现最佳的工艺可重复性。该资产具有用户友好的图形用户界面和可配置的流程参数,以实现最大的灵活性和易用性。MARCH PM-600专为工业和研究应用而设计，可用于半导体、医疗、电子等相关领域。PM-600具有可靠的性能和坚固的结构,是任何蚀刻/灰化应用的理想选择。