二手 MARCH PM-600 #9139715 待售

MARCH PM-600是一种高精度的自动蚀刻/asher设备,专为各种基板的超高效蚀刻和曝光而设计。系统采用先进的并行技术，允许较高的吞吐量速率。该单元能够蚀刻多种基板，包括：硅、GaAs、AlGaAs和其他III-V材料。该机具有8英寸大的蚀刻区域，允许同时处理多个晶片。该工具还包括用于精确查看和检查过程的远程视频光学资产。video光学器件可由用户调节,以确保蚀刻参数保持在指定的公差范围内。该型号配备了两把独立式溅射枪，便于在溅射和化学蚀刻过程之间转换。这允许用户在旋钮转弯时快速高效地在蚀刻过程之间切换。PM-600还配备了自动防护功能。它具有独特的空气流通设备，确保用户的安全和蚀刻过程的完整性。系统还配备了自动关闭开关，以确保设备在工作时不会处于暴露状态。本机采用高功率、变频射频发电机.这使刀具能够处理各种射频频率，并确保所有必要的蚀刻参数都得到精确控制。资产还配备了先进的自动化软件，以确保精确的流程，并最大限度地减少出错的可能性。综上所述，MARCH PM-600是一个高度通用和精确的蚀刻/asher模型，是理想的更广泛的基材品种。该设备能够提供高吞吐量,具有精确的控制和保护功能,以实现安全、准确的蚀刻过程。