二手 MARCH PM-600 #9160093 待售

MARCH PM-600 蚀刻器/asher是一种功能强大的自动化蚀刻器和asher设计用于半导体行业。它使用等离子体蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）在晶圆和其他基板上创建精确、高长宽比的特征。PM-600设计用于高容量制造精密设备,例如集成电路和其他纳米级组件。MARCH PM-600是一种高通量的蚀刻器/asher,旨在最大程度地减少蚀刻生产所需的时间。它有一个自动化的加工室，密封和操作在一个超清洁，受控的环境。该工艺室具有低压、低温蚀刻操作，允许严格控制蚀刻速率。该工艺室还配备了双源设备，可独立控制蚀刻剂和蚀刻目标。此双源系统允许对蚀刻速率和反转边蚀刻轮廓进行精细控制。PM-600配备了多种功能，以方便蚀刻过程。它具有高分辨率的串联成像单元,可实现快速、精确的对齐。它还有一个通用气体面板，允许精确控制蚀刻化学。MARCH PM-600还配备了实时粒子监视器和逐步蚀刻、二维剖析功能，根据用户定义的设定点提供动态蚀刻调整。PM-600提供了高效生产精密设备所必需的保形蚀刻和高通量能力。其串联成像机和受控环境在晶圆等基板上创建高长宽比特征方面发挥着重要作用。MARCH PM-600允许使用各种蚀刻工艺配方,包括离子蚀刻、化学蚀刻和通过数字控制器技术编程的逐步蚀刻配置文件。该单元还具有通用气体面板,可精确控制蚀刻化学。PM-600设计用于半导体行业，提供高效、通用的蚀刻能力，以满足纳米设备行业的加工需求。