二手 MARCH PX-1000 #142222 待售

MARCH PX-1000 Etcher/Asher是一种现代化、先进的干蚀刻和灰化设备,它利用等离子体功率将各种材料精确蚀刻和灰化到各种不同的级别和复杂程度。该系统由基础单元、控制单元、自动电极控制器、石英蚀刻/灰室组成。MARCH PX 1000可以加工晶片和基板，尺寸可达6英寸（150毫米）。基材的相容性范围从金属到陶瓷、石英、玻璃。PX-1000的高级控制单元能够在每次提供各种配方时获得可重复的结果，以及可定制的选择以涵盖典型的大批量蚀刻过程，以及一次性、研发风格的活动。包括自动电极维护，机器自动补偿电极侵蚀和磨损随着时间的推移。该DR-1000能够在1016 Torr （134 mBar）和91 Watts时达到每晶圆10秒的处理速度,并增加了达到最佳端点的步骤。气流是高度可调的，由多达四种工艺反应堆气体和多达三种用于试剂/蚀刻添加剂和清洁气体的软管组成。石英室设计有多个超低泄漏、射频环以及防辐射罩和可调节的PTFE淋浴头。该腔室具有高度可调性，为组件提供了许多安全安装的机会，在处理过程中提供了很大程度的灵活性。PX 1000为等离子体蚀刻工具提供了最高的精确度,使其非常适合研发活动和生产方式。MARCH PX-1000是包括Al、Cu、Cu合金、Fe、SiC等多种材料的理想选择。它还提供了集成电路、复合半导体器件和MEMS器件等蚀刻/灰分应用所需的灵活性。MARCH PX 1000作为交钥匙蚀刻解决方桉存在,具有严格的重复性和卓越的长期可靠性。